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金剛石長(cháng)晶設備（6kw）
產(chǎn)品概述
金剛石長(cháng)晶設備（6kw）
Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長(cháng)系統，是實(shí)現高質(zhì)量金剛石晶體生長(cháng)、高純度晶體薄膜沉積、高溫晶體熱處理的專(zhuān)業(yè)設備。廣泛應用于金剛石晶體生長(cháng)、原料沉積、晶體熱處理領(lǐng)域。
技術(shù)參數
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序號 |
項目 |
規格/參數 |
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01 |
尺寸（約） |
1450L*1130W*1880H (mm) |
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02 |
重量（約） |
380 kg |
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03 |
微波功率 |
6kw/2.45GHZ |
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04 |
腔體材料 |
Stainless Steel |
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05 |
冷卻方式 |
Water-cooling |
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06 |
底盤(pán)高度 |
50mm(2inch) |
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07 |
主要氣體管道 |
4路MFC |
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08 |
工作壓力范圍 |
10-200 torr |
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09 |
真空檢漏值 |
1X10-9mbar.l/sec |
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10 |
真空泵 |
Rotary Pump[(18/22)m3/h(50/60HZ)] |
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11 |
CDA壓力 |
5-7kg/cm2 |
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12 |
水壓 |
5-7kg/cm2 |
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13 |
電壓 |
3Φ400V±10%/50Hz/60Hz |
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14 |
電流 |
30 A |
亮點(diǎn)
我們研發(fā)的金剛石專(zhuān)業(yè)設備屬?lài)鴥阮I(lǐng)先，設備自動(dòng)化程序高、控制精度高，所生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量?jì)?yōu)，成品率高，能耗極低。生產(chǎn)人員擁有多年CVD法生產(chǎn)經(jīng)驗和技術(shù)。
MPCVD
化學(xué)氣相沉積法
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